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电磁铁用途简介

责任编辑:绵阳市涪城区力田磁电科技有限公司-电磁场发生器厂家  发布时间:2014-03-05
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    电磁铁为能单晶炉提供均匀稳定的直流电磁场,次等磁场的工作原理是在单晶炉体两侧加一个稳定的横向磁场,磁场所提供的磁力线会穿过炉桶、坩埚、融汤是单晶在恒定的磁场中生长,抑制熔体的对流、液面震动、温度起伏增加熔体粘度同时能将氧含量均匀控制在(1—20)*1017原子数CM-3范围内,减少熔体对坩埚壁的冲刷(重力对流)可以改善单晶硅中氧、碳的含量,同时也可降低其他杂质的含量,据文献报道和用户反映使用磁场后可使拉速提高,从而提高了生产效率。
    磁场拉晶在单晶硅的工业研究中是一种十分有效的方法,效果如下所述
1.熔体温度波动小
    融体温度变化稳定起伏减小,能有效抑制由稳定、重力引起的热对流,使熔体液面震动减小。
2.无生长条纹
    因熔体对流使晶体生长不规则,甚至造成晶体复溶,晶体产生条纹,杂质分凝不规则。加磁场后,晶体模拟太空微重力条件下生长,使晶体不产生生长条纹。
3.氧含量可以得到有效控制
    晶体和坩埚的旋转造成的强制对流在磁场中也会得到抑制,从而使氧含量得以控制。
4.减少晶体的二次缺陷
    在加热工艺的热循环过程中会引起氧的沉淀析出造成错位层错等缺陷,加磁场后晶体中含氧量降低且均匀分布,所以几乎无上述缺陷。
5.晶体屈服应力高、晶片弯曲小
    普通的硅单晶的氧含量使晶片屈服应力减低,晶片在器件工艺过程中易发生弯曲,加磁场后,晶体中含氧量低且分布均匀,所以热处理时无氧沉淀,又能吸收位错,晶片弯曲小。
6.电学特性好
    普通硅单晶热处理后,寿命明显减小,而磁场拉晶热处理后寿命减小的概率很小,且分散性也小。

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